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高純氟化銨溶液

項   目

       指標

UP-S級

UP-SS級

氟化銨含量w/%

40.0±1.0

40.0±1.0

氟硅酸銨[以(NH4)2SiF6計]w /(mg/kg)           ≤

10

10

色度 /Hazen                         ≤

10

10

pH(10g/L溶 液 ,25℃ )

6.0-7.5

6.0-7.5

氯化物 (以 Cl計 ) w /(mg/k g)         ≤

3

0.2

硝酸鹽(以NO3計)w /(mg/kg)        ≤

3

0.1

磷酸鹽(以PO4計)w /(mg/kg)        ≤

1

0.1

硫酸鹽(以SO4計)w /(mg/kg)        ≤

3

0.2

鋁(Al)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

砷(As)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

硼(B)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鋇(Ba)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

鈣(Ca)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

鎘(Cd)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

鉻(Cr)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

銅(Cu)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鐵(Fe)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鉀(K)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鋰(Li)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鎂(Mg)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

錳(Mn)w /(μg/kg)                  ≤

1

0.1

鈉(Na)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鎳(Ni)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鉛(Pb)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

鈦(Ti)w /(μg/kg)                    ≤

1

0.1

銻(Sb)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

錫(Sn)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

釩 (V)/ w (ug/kg)                     ≤

1

0.1

鋅(Zn)w /(μg/kg)                   ≤

1

0.1

顆粒

(≥0.5μm)/(個/mL)     ≤

10

(≥0.2μm)/(個/mL)     ≤

10

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