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質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
分子式：CF4 分子量：88
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成分 |
規(guī)范 |
單位 |
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CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
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空氣 |
≤ |
100 |
ppmv |
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H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
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CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
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SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
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其它鹵碳化合物 |
≤ |
30 |
ppmv |
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酸度(以HF計(jì)) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩(wěn)定的無(wú)毒物質(zhì)。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于電子器件表面清洗，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風(fēng)、遠(yuǎn)離熱源、倉(cāng)溫不宜超過(guò)30℃，空瓶、滿瓶應(yīng)分開(kāi)存放。
運(yùn)輸：
四氟化碳的運(yùn)輸應(yīng)符合《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的相關(guān)規(guī)定。
包裝:
應(yīng)充裝在經(jīng)特殊處理的潔凈、干燥的無(wú)縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據(jù)用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。
地 址：中國(guó)福建省邵武市新氨路18 號(hào)
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