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分子式：SF6
分子量：146.05
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項 目 |
國 標 |
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六氟化硫(SF6)含量（體積分數）/10-2 ≥ |
99.999 |
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（氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
2.0 |
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氮（N2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
2.0 |
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四氟化碳(CF4)含量（體積分數）/10-6 ≤ |
1.0 |
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一氧化碳（CO）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
0.5 |
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二氧化碳（CO2）含量（體積分數）/10-6 ≤ |
0.5 |
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甲烷(CH4) 含量（體積分數）/10-6 ≤ |
0.5 |
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水分(H2O)的（體積分數）/10-6 ≤ |
3.0 |
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酸度（以HF計）的質量分數/10-6 ≤ |
0.1 |
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可水解氟化物（以HF計）的質量分數/10-6 ≤ |
0.8 |
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雜質綜合的體積分數/10-6 ≤ |
10 |
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顆粒 |
由供需雙方商定 |
性狀：
常溫常壓下為液態，它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點-50℃，升華點或沸點為-63.8℃，氣體密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔點時密度為2.51g/cm3，具有高的絕緣性和滅弧能力。
用途：
六氟化硫﹙SF6﹚是一優良的惰性絕緣氣體，電子工業用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業中應用量大。
貯存：
應存放于陰涼干燥、通風良好的地方。
運輸：
長途運輸時應附有GB19-73《危險貨物包裝標志》中指定標志。氣瓶充裝系數不大于1.33kg/L。
包裝：
SF6應充裝在潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可以根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。（一般情況下，使用氣瓶公稱壓力為15Mpa時，充裝系數＜1.37ka/L。﹚
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