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|
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|
WF6 |
≥99.999% |
|
N2 |
<1ppmv |
|
O2+Ar |
<0.5 ppmv |
|
CO |
<0.5 ppmv |
|
CO2 |
<0.5 ppmv |
|
CF4 |
<0.5 ppmv |
|
NF3 |
<0.5 ppmv |
|
SF6 |
<0.5 ppmv |
|
SiF4 |
<0.5 ppmv |
|
HF |
<5 ppmv |
|
Al |
<0.2 ppm w |
|
Ca |
<0.01 ppm w |
|
Co |
<0.01 ppmw |
|
Cr |
<0.02 ppmw |
|
Cu |
<0.01 ppmw |
|
Fe |
<0.02 ppmw |
|
K |
<0.15 ppmw |
|
Mg |
<0.01 ppmw |
|
Mn |
<0.1 ppmw |
|
Mo |
<0.5 ppmw |
|
Na |
<0.015 ppmw |
|
Ni |
<0.1 ppmw |
|
Pb |
<0.02 ppmw |
|
Th |
<0.1 ppmw |
|
U |
<0.05 ppmw |
|
Zn |
<0.05 ppmw |
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